低温超导部件氦质谱检漏记录表 低温超导部件名称： 编号或标记： 日期: 正 压 吸 枪 检 漏 被检件内加压力 (M Pa) 检漏口真空度 (Pa) 仪器本底输出信号 (Pa ? m3/s ) 检漏仪器输出信号 (Pa ? m3/s ) 结 论 正压真空检漏 被检件内加压力 (M Pa) 真空系统真空度 (Pa) 仪器本底输出信号 (Pa ? m/s) 检漏仪器输出信号 (Pa ? m3/s ) 结 论 负压真空检漏 检漏口真空度 (Pa) 待检件真空度 (Pa) 仪器本底输出信号 (Pa ? m/s) 检漏仪器输出信号 (Pa ? m3/s ) 结 人漏检 部件设计人 部件设计人验收签名后交质管

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