表5 部件名称 触摸显示 屏 开始/停止 调零 部件类型 显示操作 按钮 按钮 备 注

　　显示设备当前的运行状态，可通过触摸方式更改参数切换 显示画面。 开始检漏或停止检漏按钮，长按停止可对检漏口放入空 气，以便更换工件。 按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零

　　Y 启动完成，开始检漏 备注: 启动过程中只有V1打开，其余阀都应 该是关闭的，如果有阀没有关闭，请 检查，或联系生产商；如果系统出错 ,且多次重新启动后均无法启动,请联 系生产厂商。

　　本公司最新产品信息、相关文档修订和勘误表，请联系本公司客服。 400 112 0066

　　符号 含义 可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。 必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导 致故障。 日常操作时需要注意的事项 ¨ 参见的章节 如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。 本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品 升级且不用另行通知的权利。 为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》

　　本手册对“SFJ-231氦质谱检漏仪”对应子机在到用户现场后进行的安装、使用、 维护和故障排除等方面进行了介绍。

　　本手册的目标读者为需要对“SFJ-231氦质谱检漏仪”或对应子机执行安装、使 用、维护等针对本仪器的操作人员，本公司员工以外的客户方或第三方操作人员尤 其需要仔细阅读本手册。

　　环境温度（℃） 相对湿度 SFJ-231 供电电压 最大工作电流（A） 注意

　　使用本产品前请确保仪器已可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用本产品！ 如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。 仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以 防氦气干扰。 仪器停机后要等待40分钟以上才可以移动，否则可能影响分子泵

　　模块名称 CPU 显示模块 控制模块 输入模块 RS232 数传模块 输出控制模块 离子源电源模块

　　整个电子系统的核心，协调所有的操作 显示漏率，压力等数据 按键输入以便完成相应的操作 采样数据并传送给 CPU 与外部 232 设备通讯，也可接线控器 控制继电器，电磁阀的动作，以实现检漏、停止等操作 和气路切换 控制离子源的电源

　　仪器搬运到检漏现场； 提供 220V±10% ,50Hz 的交流电源，并且确保有地线； 准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是 250V*10A； 准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等。

　　将检漏口用专用堵头堵住，接通电源,按下电源开关到“—”的位置，仪器开始 加电。设备显示启动画面。如下图：

　　特别注意 在使用外部辅助真空系统时，请确保检漏仪处于待机状态后再进行辅助真空系 统的抽空，否则可能会造成检漏仪机械泵返油。

　　最小可检漏率（ Pa·m /s ） 可检气体 响应时间（s） 启动时间（min） 漏率指示范围（Pa·m /s） 检漏口允许最大压力（Pa） 允许质谱管最大压力（Pa） SFJ-231 检大漏功能 无线手持器 双灯丝切换功能 前级泵 分子泵 小推车 仪器物理尺寸（W）×（D）×（H）

　　电源接口包括：开关/保险丝/电源插孔 漏率信号的模拟量输出 485 通讯接口 外部控制、内部输出接口 遥控器接口 232 通讯接口 USB 通讯接口 机械泵排气口

　　为质谱室提供高真空，以便灯丝可以正常工作 测量分子泵排气口的真空值 精检阀 中检阀 获取粗真空 粗检阀 预抽阀 放气阀 检漏仪内置校准漏孔 标漏阀 测量检漏口压力的传感器 被检工件的接口的接入端口 离子飞行的腔体

　　氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检 漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速 度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦 作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用： 科学研究 航空航天 汽车制冷 军事工业 分析仪器 发电厂 核工业 压力容器 精密机械加工 医疗仪器/仪表 真空炉、镀膜设备等装置或系统 高真空和超高真空的工程 半导体等行业 氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。

　　表3 部件 泵2 P2 V4 V3 泵1 V1 V2 V6 标漏 V5 P1 检漏口 MS 分子泵 电阻规管 电磁阀 电磁阀 机械泵 电磁阀 电磁阀 电磁阀 标准漏孔 电磁阀 真空规管 检漏口 质谱室 名称