• 当前大量使用的机械真空泵，即使设 计得再好，相向运动的零件间配合精 度即使很高。在泵达到极限真空时， 也难以阻止气体由低真空端向入口端 “突破”返流。另外，由于泵在设计 制造及装配中不可避免地存在有害空 间，这也降低泵的极限真空度。油封 机械真空泵就是用油将相向运动的零 部件和排气阀零件间密封起来；将有 害空间充填，使得高压气体反“突破 ”的机会少得多，密封性能也就好得

　　• 真空检漏技术 • 氦质谱检漏仪的主要构成及作用 • 真空学简介 • 泵的工作原理 • 质谱管结构及其工作原理 • 氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项

　　• 真空检漏技术就是用适当的方法判断真系 统﹑容器或器件是否漏气﹑确定漏孔位及 漏率大小的一门技术﹐相应的仪器称为检 漏仪。在真空系统﹑容器﹑器件制造过程 中借助真空检漏技术确定它们的真空气密 性﹑探查漏孔的位置﹐以便采取措施将漏 孔封闭从而使系统﹑容器﹑器件中的真空 状态得以维持。

　　• 在真空科学中，真空的含义是指在给 定的空间内低于一个大气压力的气体 状态。人们通常把这种稀薄的气体状 态称为真空状况。

　　• 随着气态空间中气体分子 密度的减小，气体的物理性 质发生了明显的变化，人们就是基 于气体性质的这一 变化，在不同的 真空状态下、应用各种不同的真空工 艺、达到为生产及科学研究服务的目的 。 目前 ， 可以 说 ， 从每平方厘米表面上有上百个电子元件的超大规 模集成 电路的制造，到几公里长的大型加 速器的运转 ，从民用装饰品的生产到受控核聚变、人造卫 星、航 天飞机的问世，都与真空工艺技术密切相关。不同真空 状态下 所引发出来的各种真空 工艺技术的应用概况如 下表 所示。

　　• 用油来保持运动部件的密封、靠泵腔 容积变化而实现抽气的机械真空泵。 它们的工作原理都是使泵腔工作室容 积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔 内工作室容积变得最小时，与泵的入 口管道连通，于是气体进入泵吸入腔 ，一直到吸入腔容积最大并重新与进 气口分开时为止。当容积减少时，气 体被压缩，直到气体的压力大于一个 大气压，排气阀被打开，将气体排出

　　• 在国际单位制中压强的单位是Pa(帕斯卡)， 1Pa的压强就是1m2面积上作用1N(牛顿)的 力。

　　• 氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理 ，以氦作探索气体，对各种需密封的 容器的漏隙进行快速定位和定量检测 的理想的方法。因氦是隋性气体，对 大气无污染，使用安全；氦原子量小 、粘度小，易渗透过任何可能存在的 漏率，检测灵敏度高、速度快、适用 范围广；加之氦在大气中含量少（仅 万分之五），离子质量与其它气体离 子质量相差很大，不易受干扰，不会

　　• 粒子带电量为 q ，质量为 m ，经加速 电压 U 加速后进入匀强磁场中，在加 速电场中，由动能定理得：qU = 1/2mv2 ，在匀强磁场中轨道半径：

　　若以一电子的电荷量作为1电荷单位，正离子的 电荷数用Z表示，以相对原子量单位作为离子的 质量单位，离子质量数用M表示，M的单位为高 斯（1高斯=10-4特），V的单位为伏特，R的单位 为cm，则

　　• 质谱管是检漏仪的核心部分，包括离子源、磁铁、接收 极与前置放大器、全离子检测极及管壳 等 部 分。

　　• 带电粒子的速度方向若与磁场方向平行，带电 粒子不受洛伦兹力作用，将以入射速度做匀速 直线运动。

　　• 带电粒子若垂直进入匀强磁场且只受洛伦兹力 的作用，带电粒子一定做匀速圆周运动，其轨 道平面一定与磁场垂直。由洛伦兹力提供向心 力，即：

　　• 人们或许是受翻译国外书刊的影响，通常在回顾真空 科学发展史时，常常误认为1643年托里析利的压力实验 和1650年葛利克发明抽气机是对真空这一现象的最早发 现，其实早在公元前六世纪我国在冶铁技术中即采用了 风箱鼓风法，那时称风箱为“鞲鞴”。战国时期“老子 道德经”一书说“鞲鞴”是虏而不屈、动而愈出”，这 是利用真空吸气原理的有记载的描述。而欧州到十六世 纪才发明这种设备。因此在我们回顾真空科学发展历程 时，是不应当忘记我们的祖先、对人类在早期发展真空 技术所做出的贡献。

　　• 分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输 给气体分子，使之获得定向速度，从而被 压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种 真空泵。

　　• 涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的 定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通 常在分子流状态下工作。

　　• 三位手动组合阀可对被监实现预抽真空、 检漏和放大气的全部检漏操作程序。这样 的工作是通过顺时针旋转操作手柄完成的 。

　　• 真空系统﹑容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝 ﹑连接处存在孔洞﹑裂纹或间隙等缺陷﹐外部大气通过 这些缺陷进入系统內部﹐致使系统﹑容器或器件达不到 预期的真空度﹐这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称 为漏孔。漏孔尺寸微小﹑形状复杂﹐无法用几何尺寸表 示﹐因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率 是指单位时间內漏入系统的气体量。用漏率表示漏孔大 小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为 1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296 士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低 于248K的空气的气体量。