氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器.其质谱原理如图所示。

　　灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径

　　由上式可知，当R、B为定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

　　设计研究远程氦质谱检漏探头装置，基于可编程控制器及摄像监控基础上进行喷氦法检漏和正压吸枪检漏，实现高危环境等真空系统的远

　　氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。

　　在电工和电子工业中，根据不同产品对密封的要求多采用喷吹法，吸入法和加压法等检漏方法。

　　固定流导法采用的是分压力侧量技术，对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的侧量误差可达

　　分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响, 地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。

　　本文以日机密封公司指定的一套螺旋槽干气密封为研究对象，对其密封动环进行振动模态分析，并通过LMS振动试验验证分析的可靠性。

　　氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。

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