爪形转子干式机械真空泵（又简称爪式泵）在泵壳内具有两个共轭啮合的爪形转子。与罗茨真 空泵类似，转子由一对同步高精度齿轮来带动旋转并固定相位。转子型线由六段摆线和圆弧组 成，转子之间及转子与泵壳之间并不接触，留有微小的间隙。气体的进气口和排气口均设在Fra Baidu bibliotek 壳的端面上，分别由两个转子端面周期性的定时开闭，具有阀的调节作用。爪形转子干式机械 真空泵的整机型式分为立式和卧式两种。卧式结构以英国爱德华公司开发的一级罗茨转子加上 三级爪形转子的DP80型机械真空泵为代表。罗茨转子为高真空吸气级，爪形转子为压缩排气 级，这样安排可以在低入口压力下得到大抽气速率。其极限压力可达1Pa以下。这种结构的泵 特点是整机重心低，各级转子与隔板之间的间隙易于调整。为了在低压下获得较大抽速，泵的 罗茨吸气级要做得比爪形排气级大50％。为了避免泵在粗抽期间产生组间“过压”，在罗茨及 中间爪型级之间设有较大的传输空间作为压力缓冲空间。另外还可以安装级间过压安全阀以保 证工作可靠。为了有助于抽除水蒸汽，在泵的排气级设置了气镇阀。泵的传动型式与罗茨真空 泵相同。通过以上分析可知，爪形转子干式机械真空泵同时具有罗茨真空泵和旋片真空泵的优 点。