螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于20世纪90年代前后，发展较晚。但作为一种理想干泵，螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展。接下来，我们一起了解一下它的基本知识吧！

　　螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的干式真空泵。

　　它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性。

　　因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐，逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。

　　螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点：

　　1、清洁无油，多相混输，适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。

　　2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆式真空泵零部件少，核心部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。

　　4、强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。

　　螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

　　因为是脱胎于螺杆式压缩机，所以螺杆式真空泵的工作原理也与螺杆式压缩机类似。我们以近似的多头型线、吸气过程

　　图中可见，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

　　图中，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。a、压缩过程开始

　　螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。如图3a所示。这个过程一直持续到齿末端的型线完全啮合。此时，齿间容积内的气体通过排气孔口被完全排出，封闭的齿间容积的体积变为零。

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