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gbt 13979-1992 氦质谱检漏仪pdf
时间:2024-10-07 22:48:19 点击次数:

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  本标准适用于以氨-4做为示漏气体,以质谱分析法作为检测手段的检漏仪(以下简称仪器)。

  3.1仪器的技术性能应符合本标准的要求并按经规定程序批准的设计图样及技术文件制造。

  带有粗抽泵的检漏仪,在检漏口应当有压力指示仪表,并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽

  仪器中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表与质谱室灯丝保护电路,其动作范围

  3.10使用油扩散泵的仪器,其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的最佳工作压力的时间

  用常规检漏方式的仪器在全抽速,仪器的最小可检漏率应不大于2.10-1Pa?m3?s~用逆扩散检

  当电源电压由额定值变化士22V,仪器的最小可检漏率仍应达到3.11条要求。

  用500V的兆欧表,当电源开关在“开”时,测仪器电源线对机壳间的绝缘电阻。

  用功率0.25至1kVA的高压试验设备,当电源开关在“开”时,对仪器电源线和机壳间作绝缘强度

  对额定电乐不超过250V的单相电器,按图1所示,选择开关分别在位置1和位置2进行测量

  在放大器的校准点输入适当的电压,检验在同一量程内和不同量程间输出指示值误差。

  调节报警点设定装置,由一端到另一端,用校准电压改变显示系统输出电压,检查漏率音响报警电

  在检漏仪入口处接电阻式(或热偶式)真空计,校对仪器中的压力计及其控制功能

  调节检漏仪的节流阀或抽速阀,以改变质谱室内的压力,检査灯丝保护电路的功能。

  4.8使用油扩散泵的仪器,其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的最佳工作压力的时间试验

  试验前仪器已抽到最佳工作压力,然后停机8h以上,但未超过24h,系统保持在低压状态。

  仪器开机后记下时间,然后按制造厂规定时间加入液氮,测高真空系统压力达到制造厂规定值

  b.仪器开机后记下时间,不加液氮,测高真空系统压力达到制造厂规定值的时间

  将校准濕孔装在检濕仪的入口处,并将检漏仪经调压器接入电源,用适当的电压表监视电源接对质

  谱室供电的一相,把电源电压调至220。当仪器质谱室已处于制造厂规定的最佳工作压力,仪器已按

  测讯号:打开校准漏孔阀,3min后读取此时讯号值U,关闭漏孔阀,1min后读本底值び。,则

  b.测噪声:关漏孔阐3min后,用记录仪记录整机噪声曲线min,然后依时间等分为20段,做


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