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天岳先进申请专利实现压力控制器密封圈的自动磨合修复过程高效快捷
时间:2024-09-27 15:13:37 点击次数:

  金融界 2024 年 7 月 20 日消息,天眼查知识产权信息显示,山东天岳先进科技股份有限公司申请一项名为“一种长晶炉压力控制器自动修复系统及方法“,公开号 CN8.2,申请日期为 2024 年 3 月。

  专利摘要显示,本发明提供一种长晶炉压力控制器自动修复系统及方法,属于碳化硅生长及外延技术领域,所述系统包括工控计算机、控制扩展模块、截止阀、真空泵和压力控制器接口;控制扩展模块与工控计算机、截止阀、真空泵均连接;工控计算机还与压力控制器接口连接;截止阀一端与大气连通,另一端通过第一气体管路与压力控制器接口连接,压力控制器通过第二气体管路与真空泵连接;第一气体管路上设有压力传感器,压力传感器与压力控制器接口连接;压力控制器接口连接有压力控制器;工控计算机向压力控制器发送磨合指令,并在磨合指令完成后验证压力控制器的密封性,进行压力控制器参数配置修复。


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