P3000XL 氦气检漏仪推荐日常点检项目表 （ 每日 ） 点检日 ： 月 日点检人 ： 每日点检内容 开机后有无异常声音 □有 □无 可否正常开机进入测试模式 □可 □不可 开机 20 分钟以后实施内部校正 □内部校准实施完毕 内部校正后使用外部漏孔进行灵敏度确认 □确认完成 流量 sccm 是否有异常报警 □无 □有（报警代码 、 、 ） 其他异常内容及对策 □无 □有 □已联系制造商
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