爪式转子是无油干式真空泵的核心部件，影响着干式真空泵的工作效率和工作的稳定性。它的最为关键的技术是爪形转子的如何平衡问题。

　　涡旋式无油机械真空泵是从涡旋式压缩机演变而来的一种新型的干式真空泵。 该泵特点是重量轻、体积小，为卧式结构，可以从大气压力下直接抽到 10-1Pa ，是一种使用范围很宽的粗抽用干式真空泵。

　　活塞式无油真空泵的外形呈扁方形，是由四个阶梯形活塞及四个阶梯形气缸组成。与电机直联的轴通过四根连杆带动四个活塞。活塞的背面空间由次级活塞抽气，以减少泄漏和降低极限压力。每个气缸都有进气阀与排气阀。

　　无油干式机械真空泵 ( 以下简称干式机械泵 ) 是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式机械真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

　　清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品.在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有很多特点。

　　根据在机械结构设计上有明显差异，因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式，其中前三种被称为多级泵。

　　普发真空推出了HiScroll系列超静音干泵，此系列为无油真空泵，具备同级别泵类中最低噪音水平，并配备智能控制系统。

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